IR··个系列精密阀门专业：
气缸日文，体积小，重量轻。湿式气缸
，大流量比传统的精密阀门IR输出。
，比常规的SMC精密稳压输出流量IR较大。
如图所示，将压力设定精确。
如图所示，通过常规的调整螺钉的齿距。毫米.毫米
，安装气缸坏了方便，支架可以独立使用或直接安装在本发明组合物的模块化过滤元件和AFM AF。
，也与标准的安装板。
如图所示，与先导排出口从主出口分开。
如图所示，可以在无尘室内使用。
